화학Engineering實驗(실험) - 진공 상에서의 물질의 증착
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작성일 23-03-06 03:03
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화학Engineering實驗(실험) - 진공 상에서의 물질의 증착
① 압력 단위 환산
③ 각각의 heating boat에 ALQ3를 담고 질량을 측정한 뒤 chamber내에 고정시킨다.
증착속도(Å/s)
다.
Ⅲ 實驗 과정
1atm = 101325Pa = 1.01325bar = 760mmHg(torr) = 14.696 psi
② heating boat를 2개 준비하여 각각의 질량을 측정한다.
진공증착 實驗에서는 시료가 증착되는 속도를 나타내며, 초당 아주 미세한 속도로 증착됨을 알 수 있다 deposition tickness monitor device를 이용해서 증착속도를 측정할 수 있다
Ⅰ 실험목표 진공 상에서의 물질의 증착을 이해하고, 압력에 따라 변화하는 챔버 안의 증발 분자량을 계산한다. OLED 제작에 쓰이는 형광물질이다. Ⅱ 실험 이론 ① 압력 단위 환산 1atm = 101325Pa = 1.01325bar = 760mmHg(torr) = 14.696 psi
③ 시료: aluminum quinoline
1) 기판 준비
Ⅱ 實驗(실험) 理論(이론)
설명
화학공학실험,진공 상에서의 물질의 증착
순서
진공 상에서의 물질의 증착을 이해하고, 압력에 따라 변화하는 챔버 안의 증발 분자량을 계산한다.
줄여서 alq3 이라 불리우며 분자량은 459.44g/mol이다.
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① ultrasonic에 기판을 10분간 돌리고 20분간 150℃로 Dry Oven에 말린다.
시료 및 장치 준비 과정(모든 세척과정에서는 반드시 일회용 비닐장갑을 낀다.
④ 기판에 증착 유리판을 고정 시킨 후 기판을 고정 하고 chamber를 밀폐 한다. 나노기술과 같은 분자 또는 원자 수준을 다룰때 자주 쓰이는 단위이다.)
Ⅰ 實驗(실험)목표
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옹스트롬 [angstrom] 으로, 빛의 파장, 원자 사이의 거리를 재는 데 사용하는 길이의 단위이며, 1Å = 0.0000000001m = 1*10^-10 m 를 나타낸다.
